《电离真空计校准规范》征求意见稿发布

2017年10月17日 08:29:50 人气: 23171 来源: 仪表网

　　【仪表网仪表标准】10月16日，全国压力计量技术委员会发布了《电离真空计校准规范》征求意见稿，并面向全国的计量机构、科研院所等相关单位征求意见。

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　　本校准规范的起草单位有中国计量科学研究院、云南省计量科学研究院、成都国光电气股份有限公司。

　　电离真空计由电离真空规(压力传感器)和显示仪表组成。电离真空规按照电离电子源的不同可以分为发射阴极电离真空规和交叉场电离真空规。当温度不变时，气体分子被电离所生成的正离子数与气体分子密度成正比，即与压力成正比。电离真空规的计量特性与气体种类有关。实际校准工作中通常以氮气为工作介质。

　　JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》和GB/T3163-2007《真空技术术语》共同构成本规范制定的基础性系列规范。

　　本校准规范参照JB/T 7463-2005《热阴极电离真空计》、ISO/TS 3567:2011(E) 《真空计——与标准真空计直接比对的校准》(Vacuum gauge — Calibration by direct comparison with a reference gauge)、ISO/TS 27893:2011(E)《真空技术——真空计——与标准真空计直接比对校准结果的不确定度评定》(Vacuum technology — Vacuum gauge — Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge)和《真空技术手册》(Handbook of Vacuum Technology)中第13章全压真空计(Total Pressure Vacuum Gauge)和第15章校准和标准(Calibrations and Standards)进行制定，采用了其中的基本原则，对具体方法和技术指标进行了细化、补充和修改。

　　本规范为修订，代替JJF1062-1999《热阴极电离真空计》及JJG462-2004《二等标准电离真空计》。

　　与JJF1062-1999和JJG462-2004相比，除编辑性修改外，主要技术变化如下:删除规管常数和电路的电参数检测部分；删除压力示值误差超差判据；以修正因子作为被校仪器计量特性；原规范中要求标准装置校准室的本底压力不大于被校真空计压力下限测量点压力值的2%，本次修订将该数值修改为10%；增加不确定度评定方法。

　　本规范引用了JJF 1001-2011 通用计量术语及定义；JJF 1008-2008 压力计量名词术语及定义；GB/T 3163-2007 真空技术术语；JB/T 7463-2005《热阴极电离真空计》；ISO/TS 3567:2011(E) 真空计——与标准真空计直接比对的校准(Vacuum gauge — Calibration by direct comparison with a reference gauge)；ISO/TS 27893:2011(E) 真空技术——真空计——与标准真空计直接比对校准结果的不确定度评定(Vacuum technology — Vacuum gauge — Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge)文件。

　　本规范适用于测量范围在1×10-9 Pa~100Pa的电离真空计校准。(更多详情请见附件)。

关键词：电离真空计,压力传感器